삼염화실란

트리클로로실란(TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2)은 무색의 고휘발성 액체로, 날카롭고 질식하는 염화수소 냄새가 납니다. 31.8도에서 끓고 수분과 격렬하게 반응하는 폴리실리콘은 광전지 태양전지 및 반도체 웨이퍼용 고순도 폴리실리콘을 생산하는 Siemens 공정의 핵심 공급원료입니다. TCS는 또한 실리콘 에피택셜 웨이퍼 성장, 유기실리콘 합성(실리콘 오일, 고무, 수지, 커플링제), CVD 실리콘 박막 증착 및 유기 합성의 선택적 환원제로 널리 사용됩니다. 산업 등급(99.0% 이상) 및 전자 등급(최대 9N 순도)으로 제공됩니다. 폭발 범위가 1.2%~90.5%로 매우 넓은 물 반응성 및 고인화성(UN 1295, 클래스 4.3+2.3, PG I)으로 분류됩니다. 건조 질소로 보호된 엄격한 무수 조건에서만 취급하십시오.