삼염화붕소
삼염화붕소(BCl₃, CAS 10294-34-5)는 무색의 자극성 가스로 쉽게 액화됩니다(bp 12.5도). 이는 수분과 함께 격렬하게 가수분해되므로 엄격한 무수 조건에서 취급해야 합니다. 강력한 루이스산으로서 플라즈마 건식 에칭 및 붕소 도핑을 포함한 반도체 공정에 중요한 특수 가스입니다. 또한 Al/Mg/Zn/Cu 합금의 정련제와 고순도 붕소 및 BN의 전구체 역할도 합니다. 산업 등급(99.0% 이상) 및 최대 99.9995%의 전자 등급으로 제공됩니다. 독성 및 부식성 물질로 분류됨(UN 1741, 클래스 2.3+8, PG I) 물, 알칼리, 알코올로부터 격리하여 10도 이하에 보관하십시오.
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제품 소개
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